1.晶圓缺陷粒子檢測系統 顆粒和缺陷: 顆粒和缺陷導致晶圓表面不規(guī)則形貌。 散射入射光: 通過檢測散射光來監(jiān)測顆粒和缺陷。 晶圓缺陷檢測系統可以通過獲取缺陷的(X,Y)坐標來檢測晶圓上的物理缺陷(顆粒)和圖案缺陷并繪制map,這些顆??梢越柚馍⑸洮F象來檢測: 1)激光束在橢圓鏡的一個焦點處垂直掃描晶圓表面,光電探測器放置在另一焦點處; 2)移動晶圓,收集散射光以檢測微小顆粒和缺陷; 3)繪制晶圓表面上的顆...
2024-06-27 11:42:06