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  • 機器視覺在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用——字符檢測
    一、半導(dǎo)體行業(yè)中的 機器視覺 應(yīng)用 (1)與其他行業(yè)相比,半導(dǎo)體行業(yè)最大的產(chǎn)業(yè)特點是生產(chǎn)過程完全離不開 機器視覺 技術(shù)??梢哉f,沒有 機器視覺 技術(shù),半導(dǎo)體行業(yè)就不能實現(xiàn)生產(chǎn)的正?;⒘慨a(chǎn)化。 (2) 機器視覺 技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用,有以下突出特點: 檢測要求高。 半導(dǎo)體行業(yè)對視覺產(chǎn)品的要求,如精度、穩(wěn)定性等等,遠遠高于其他行業(yè)。 行業(yè)規(guī)范高度統(tǒng)一。整個行業(yè)在各方面的規(guī)范程度都是高度統(tǒng)一的,這一點遠非其他行業(yè)所能比擬。因此,對于視覺企業(yè)來說...
    2024-06-29 17:17:46
  • 顯微鏡自動對焦:用于設(shè)備設(shè)計的主動式與被動式方法
    這篇文章將深入探討主動式自動對焦方法——了解它是什么,比較它與其他方法的優(yōu)劣,并探究它對于光學(xué)檢測設(shè)備設(shè)計(如半導(dǎo)體檢測)的主要優(yōu)勢。 顯微鏡的自動對焦方法對比:主動式與被動式 一般來說,有兩種類型的自動對焦系統(tǒng): 1、主動式系統(tǒng)將來自專用自動對焦光源的光照射到樣本上,并根據(jù)返回的光進行對焦。 該技術(shù)適用于樣本缺乏對比度的高級檢測系統(tǒng),如平板和裸晶圓檢測系統(tǒng)。主動式自動對焦技術(shù)也有不同的類型。瞳孔分離系統(tǒng)允許在不將樣本(移動到初始焦點平面上方或...
    2024-06-29 11:25:59
  • MasterAlign映射應(yīng)用偏位排查
  • 為什么我們看到的晶圓不是“圓”的?
    晶圓其實不是絕對“圓”的!即使拋開加工精度,晶圓也不是圓的! “111”P-type晶圓 就像上圖“111”P-type晶圓一樣,我們通??吹降木A,是有一個切口的。這個切口或是平切掉一塊,或是一個小小的缺口。為什么呢? 有個小缺口的晶圓 在硅晶圓片的制造和加工中,通常會在圓形表面上切割或研磨一個小的平面區(qū)域,這個區(qū)域被稱為flat zones(“切平區(qū)”或“研磨平面”)。切平區(qū)通常位于晶圓周邊的某個特定位置,這個位置的準確定義取決于晶圓的規(guī)格和設(shè)...
    2024-06-28 18:30:57
  • 常見的晶圓(Wafer)量測方法(二)
    1.非圖案晶圓檢測系統(tǒng) 非圖案晶圓檢測系統(tǒng)用于晶圓制造商的晶圓出貨檢驗、設(shè)備制造商的晶圓進貨檢驗以及使用假裸晶圓的設(shè)備狀況檢查,以監(jiān)測設(shè)備的清潔度。設(shè)備制造商在裝運檢查時也由設(shè)備制造商在裝運檢查時執(zhí)行設(shè)備狀態(tài)檢查,由設(shè)備制造商在設(shè)備進貨檢查時執(zhí)行。 為了檢查設(shè)備的清潔度,將用于清潔度監(jiān)測的裸晶圓裝入設(shè)備中,然后移動設(shè)備內(nèi)部的載物臺以監(jiān)測顆粒的增加。 下圖顯示了檢測非圖案化晶圓上缺陷的原理: 由于沒有圖案,因此無需圖像比較即可直...
    2024-06-28 14:31:54
  • 顯微鏡自動聚焦技術(shù)概述
    一、引言 隨著工業(yè)自動化的飛速發(fā)展,機器視覺逐漸開始在生產(chǎn)和檢測中取代傳統(tǒng)的人眼。對于機器視覺系統(tǒng)而言,聚焦是最核心的問題,如果焦距沒有調(diào)整好,拍攝出來的圖像是模糊的,后續(xù)的工作自然無從談起。在顯微鏡下,這個問題更加嚴峻,由于物鏡的景深很小,對調(diào)節(jié)的精度也提出了新的要求。因此,如何高速準確的聚焦是機器視覺領(lǐng)域的重點問題,而自動聚焦技術(shù)正是解決這該問題的關(guān)鍵技術(shù)。 二、原理 在半導(dǎo)體、生物等高精密領(lǐng)域,經(jīng)常需要用到較高倍率的顯微鏡進行檢測等工作...
    2024-06-27 11:45:38
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