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機(jī)器視覺檢測的非接觸性、連續(xù)性、經(jīng)濟(jì)性和靈活性等優(yōu)點使人們有了更好的選擇。人工檢測正逐漸被機(jī)器視覺檢測所取代。機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)應(yīng)用于半導(dǎo)體檢測,主要是通過模式匹配定位實時捕獲的圖像,對圖像進(jìn)行分析處理,獲得圖像的各種參數(shù),并與預(yù)設(shè)的檢測標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比較,判斷圖像是否合格。
與人工檢測相比,機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)應(yīng)用于半導(dǎo)體外觀檢測具有以下優(yōu)點。
1.非接觸
機(jī)器視覺檢測作為一種的檢測設(shè)備,通過對物體圖像的分析和處理來測量物體。測量過程中不需要接觸,所以對被測物體沒有磨損和危險,實現(xiàn)了無損檢測。
2.連續(xù)性
機(jī)器巡檢系統(tǒng)的優(yōu)勢很明顯,因為人是有感情的,會努力,把人當(dāng)機(jī)器是不靠譜的。與人眼相比,機(jī)器不僅不會疲勞,還具有人所不具備的一致性和可重復(fù)性,可以長時間不間斷運行。此外,由于沒有人類操作員,沒有人為的操作變化,可以設(shè)置多個系統(tǒng)獨立運行。
3.準(zhǔn)確
近年來,由于芯片封裝小型化,生產(chǎn)越來越復(fù)雜,但生產(chǎn)率越來越高,加上各種新型元器件的大量使用,僅靠人眼已經(jīng)無法保證半導(dǎo)體芯片封裝和流水線的質(zhì)量和效率。長期以來,檢測的速度和精度是制約芯片生產(chǎn)率和質(zhì)量進(jìn)一步提高的瓶頸。如何以與封裝生產(chǎn)相匹配的速度實現(xiàn)在線檢測,一直是半導(dǎo)體廠商最關(guān)心的問題。檢測的速度和精度是機(jī)器視覺檢測的明顯優(yōu)勢,日新月異的機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)正在取代人進(jìn)行自動化的產(chǎn)品檢測。
4.經(jīng)濟(jì)
隨著視覺檢測技術(shù)的逐漸成熟和加工硬件價格的降低,機(jī)器視覺檢測的經(jīng)濟(jì)性逐漸顯現(xiàn)。機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)可以取代許多人工檢測人員。此外,機(jī)器視覺檢測的一般運維成本相對較低。
5.可量測性
機(jī)器視覺系統(tǒng)可以進(jìn)行各種測量。機(jī)器視覺系統(tǒng)比光學(xué)和機(jī)器傳感器具有更好的適應(yīng)性、多樣性、靈活性和可重構(gòu)性。當(dāng)檢測過程需要改變時,機(jī)器視覺系統(tǒng)的“換刀”只是更新軟件,而不是升級昂貴的硬件。生產(chǎn)線重組時,機(jī)器視覺系統(tǒng)往往可以保留下來,繼續(xù)使用。
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