曝光機(jī)是20世紀(jì)60年初掃描電子顯微鏡基礎(chǔ)發(fā)展而來的一種新光刻技術(shù),在70年代后廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體電路板生產(chǎn)制造。曝光機(jī)即電子串曝光機(jī),是集電子光學(xué)、機(jī)械、真空、電氣、計(jì)算機(jī)技術(shù)等于一體的復(fù)雜的半導(dǎo)體加工設(shè)備。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物器件和納米科技領(lǐng)域。
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