影像幾何對(duì)位方法為目前最常用的對(duì)位方法，原理是利用已知的靶標(biāo)幾何尋找對(duì)位的中心，藉由像素與實(shí)際單位的轉(zhuǎn)換可找出實(shí)際坐標(biāo)與影像坐標(biāo)之間的轉(zhuǎn)換，便可由影像誤差計(jì)算出偏移量（Δx,Δy），由于大部分的圖形為對(duì)稱設(shè)計(jì)，因此常常需要多個(gè)靶標(biāo)來進(jìn)行角度（Δθ）的偏移計(jì)算，如圖1所示

圖1 影像幾何對(duì)位原理圖

       其中(x_f1,y_f1)、(x_f2,y_f2)為固定平面的兩個(gè)靶標(biāo)點(diǎn)，而(x_m1,y_m1)、(x_m2,y_m2)為移動(dòng)工件上兩個(gè)預(yù)對(duì)位的對(duì)位靶標(biāo)點(diǎn)。

圖2 剖析目標(biāo)和對(duì)象對(duì)位原理

       如圖2所示，目標(biāo)點(diǎn)位A和B，目標(biāo)間的中點(diǎn)設(shè)為M；對(duì)象點(diǎn)為A'和B’，對(duì)象點(diǎn)的中點(diǎn)為M'。以對(duì)象間的中點(diǎn)M'為軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，使對(duì)象A'B'和目標(biāo)線AB平行的角度即為dθ。朝X方向和Y方向平行移動(dòng)，在到達(dá)一致之前的距離為dx和dy。

       兩直線中點(diǎn)重合，完成居中對(duì)位，居中精度計(jì)算公式：Sqrt(dx*dx+dy*dy)，dx1、dy1、dx2、dy2實(shí)現(xiàn)單個(gè)靶標(biāo)中心誤差管控。單個(gè)靶標(biāo)精度計(jì)算公式：Max(dx1,dx2),Max(dy1,dy2)

圖3 對(duì)位精度管控

       對(duì)位計(jì)算完成，求出dx,dy,dθ進(jìn)行判定，其中m_xyPrecision為設(shè)定的對(duì)位XY居中對(duì)位精度，m_anglePrecision為對(duì)位的角度管控精度。

（1）dx=（dx1+dx2）/ 2 ≤ m_xyPrecision [精度]

（2）dy=（dy1+dy2）/ 2 ≤ m_xyPrecision [精度]

（3）dθ  ≤ m_anglePrecision

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